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產(chǎn)品分類product list
SmartPlasma設(shè)備類型（RTR真空垂直式）

蝕刻護(hù)岸劑

產(chǎn)品詳情

性能特點(diǎn)

  • 適合精細(xì)線路制作，減成法可以達(dá)到30/30um線路制作

  • 相比mSAP工藝，費(fèi)用低，無(wú)需增加設(shè)備投資，直接現(xiàn)有設(shè)備添加使用

  • 相比mSAP工藝，流程簡(jiǎn)單，和現(xiàn)有流程兼容，無(wú)需變更制作流程

  • 配方成熟，制程穩(wěn)定，精細(xì)線路良率高


處理效果


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                                                  護(hù)岸劑添加前EF=3.8                                              護(hù)岸劑添加后EF=9.0

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