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產(chǎn)品分類product list
SmartPlasma設(shè)備類型(RTR真空垂直式)

閃蝕液安定劑

產(chǎn)品詳情

性能特點(diǎn)


  • 適用于半加成工藝的精細(xì)線路制作

  • 蝕銅速率(3-5um/min)穩(wěn)定可控

  • 向下蝕刻速率是側(cè)向蝕刻速率兩倍,減小Undercut,保證最佳閃蝕效果

  • 蝕刻12um,仍能保證線路保持良好形狀


處理效果


處理形貌

2610.png

線條側(cè)面形貌

1.png

MSAP工藝中50μm線路閃蝕前后的線條側(cè)面輪廓。側(cè)面微蝕單邊約7.8μm,向下微蝕厚度12.3μm,向下的速度是側(cè)面微蝕速度約1.6倍。

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